【話題の技術・製品を聞く】 300ミリウエハも収まる測定顕微鏡SMT7シリーズ~オリンパス~

2015年5月13日

半導体ウエハやプリント基板、自動車部品などの観察・寸法測定に使われる測定顕微鏡。オリンパスは昨年11月に、13年ぶりとなる新製品「STM7シリーズ」を発表し、順調に販売台数を伸ばしている。300ミリウエハをまるまる測定できる300ミリ×300ミリの巨大ステージを持ち、「従来測定できなかった長寸法が測定できる」と高く評価されている。同社の科学開発本部の掛水孝彦チームリーダーと技術開発本部の小林陽介氏に詳細を聞いた。 –どんな製品なのか 小林氏 今回のSTMシリーズは、測定顕微鏡として13年ぶりの新製品。もっと大きなステージが欲しいという声に応え、300ミリの半導体ウエハも収まる300…