熱陰極電離真空計JIS化 仕様表記を統一

2014年2月5日

経済産業省は、熱陰極電離真空計について仕様の表記法のJISZ8129を制定した。トレーサビリティを考慮した測定を行うために、メーカーが表記すべき仕様の項目および表記法、不確かさ要因を明らかにするためである。 熱陰極電離真空計は、1Pa以下の圧力領域を測定する機器として半導体製造装置、ディスプレイ製造装置、真空溶解炉、分析装置など真空を利用する機器に採用されている。