MEMS絶対圧センサオムロン、1月発売高精度・低消費電流で検知

2012年9月19日

オムロンはこのほど、独自のMEMS技術を用い、50センチの高低差での気圧変化を、世界トップクラスの高精度・低消費電流で正確に検知する「MEMS絶対圧センサ」を開発、2013年1月から販売を開始する。 絶対圧センサは、真空状態をゼロに基準し、圧力を検知するセンサ。同社が開発した絶対圧センサは、血圧計用圧力センサで培ったピエゾ抵抗方式を採用。 CMOS回路とMEMSセンサ部を一体化することで、縦・横3・8ミリ角、厚み0・92ミリの小型化を実現。小型パッケージへの実装を可能にした。 検出範囲は、300~1100hPaと幅広く、相対圧力精度は、約50センチの高低差の気圧変化に相当する6paの相対圧力精…