セミコン・ジャパン主要各社の出展製品 山武プロセスデータ解析ツール「Orchard Tequira」 複数データの取込・可視化に対応トリートメント機能で使い易い

山武は、半導体製造装置市場に対応した各種ソリューションをグループ会社のテムテック研究所と一緒に出展し、アピールする。

主な製品はプロセスデータ解析ツールOrchard
Tequira、プラズマリアルタイムモニタHercules、工場省エネソリューションENEOPT、高純度特殊ガス圧力センサ、腐食性流体PFA圧力センサ、圧力計測ソリューションなどを中心に展示する。

このうちプロセスデータ解析ツールOrchard
Tequiraは、EEQA/EEQM/FDCシステムを構築・運用する際に最も手間のかかるEESデータの可視化・加工・解析を、スピーディかつシームレスに実現するツール。

カスタマイズで様々な入出力形式、データソース(File、DBなど)に対応し、プロセス挙動と検査装置のデータ解析が同時に行える。また、多様な装置のデータ解析が一つのツールで行え、複数のデータ取込み、可視化が出来る。

さらに、異常や装置のプロセス品質を代表する特徴量を、プログラミングレスで抽出(切り出し、代表値化、並べ替え)できるデータトリートメント機能も内蔵している。しかも、データトリートメント機能によって得られた特徴量に対して、統計解析が行え、検査データや他装置のデータを追加し、必要に応じた挙動解析なども可能。(http:www.azbil.com/jp)

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