オムロン非接触温度センサ開発MEMS技術で高感度化

2010年10月20日

オムロンは、MEMS技術を用いた高感度の非接触温度センサ素子を開発した。この高感度化したセンサ素子をアレイ化することで、広い空間でも人のセンシングが可能なMEMS非接触温度センサが実現できる。 非接触温度センサは照明環境に強く、静止している人をセンシングするというように、カメラや焦電センサにはない特徴を持つ。しかし感度が低いため、センシングエリアを狭める必要がある。さらに、広い空間をセンシングするには、非接触温度センサ自体を動かす機構や、センサが複数個必要なことから一般には普及していない。 一般的に温度検知原理は、人や温度を有する物体から放射される赤外線を、赤外線吸収膜で吸収させると熱に変換さ…