非接触変位センサ発売東陽テクニカ

東陽テクニカ（渡辺洋介社長）は、米・ＭＴＩインスツルメンツ社製の非接触変位センサとして、「静電容量式変位センサ」（価格56万円）と「光ファイバ式変位センサ」（同１５２万円）の販売に注力している。初年度１億円、次年度２億円の売り上げを見込んでいる。

静電容量式変位センサは、測定物が導体でグランド（アース）が取れていないと測定できなかったが、新製品は半導体（半絶縁物）や誘導体、さらには回転シャフトや空気軸受けなどグランドが取れない製品でも測定できるのが大きな特徴。測定分解能は最高０・１ｎｍ、応答周波数最大20ｋHz。

ＭＴＩ社の静電容量式変位センサは、半導体ウエハの厚さ測定や自動車などのブレーキロータの厚さ測定分野で高いシェアを有している。

一方、光ファイバ式変位センサは、ガラスや複合材、液体などほとんどのものが検出でき、ＥＭＩ（電磁波障害）の影響も受けない。測定分解能は最高０・２５ｎｍ、応答周波数最大５００ｋHz。ハードディスクや超音波素子、ピエゾ素子などの性能評価に最適。