工場・設備投資 2026年2月23日 日本ガイシ、半導体製造用サポートウエハー「ハイセラムキャリア」の生産能力を3倍に増強 日本ガイシは、AIや自動運転などの先端半導体分野で需要が高まるサポートウエハー「……