ウエハ搬送ロボット– tag –

ダイヘンの真空環境用ウエハ搬送ロボット「UT-VDW3000」が、「機械工業デザイン賞IDEA」で「日本ロボット工業会賞」を受賞した。 半導体製造プロセスにおける真空環境下で世界最速レベルの高速搬送を実現した性能とデザインの両立に注力した成果が高く評価...