- 2023年2月16日
アズビル、サファイア隔膜真空計「形V8」発売 MEMS加工技術でデポ対策を強化
アズビルは、MEMS加工技術でデポ対策を強化したサファイア隔膜真空計「形V8」を発売した。半導体製造工程で使われるプロセスガスは、種類によっては真空計のセンサダイヤフラム上に膜が形成される「デポ」と呼ばれる現象が発生することがあり、ゼロ点がシフトする […]
アズビルは、MEMS加工技術でデポ対策を強化したサファイア隔膜真空計「形V8」を発売した。半導体製造工程で使われるプロセスガスは、種類によっては真空計のセンサダイヤフラム上に膜が形成される「デポ」と呼ばれる現象が発生することがあり、ゼロ点がシフトする […]
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