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「光酸発生剤」の検索結果1件

  • 2023年7月23日

ADEKA、千葉県袖ケ浦市の千葉工場でEUVフォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が竣工

ADEKAは、千葉県袖ケ浦市北袖3-1の千葉工場で建設中だったEUV(極端紫外線)フォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が完成した。2023年8月から稼働を開始する。先端材料の需要が高まっていることから、8月より稼働予定。竣工した生産設備では、生産能 […]

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