- 2020年6月17日
安川電機 新型半導体ウエハ搬送用ロボ、高精度・低振動を実現
ダイレクトドライブモータ採用 安川電機は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、ダイレクトドライブモータを採用した「SEMISTAR-GEKKO MD124D」と、クリーンロボット用標準コントローラ「SR200」を販売開始した […]
ダイレクトドライブモータ採用 安川電機は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、ダイレクトドライブモータを採用した「SEMISTAR-GEKKO MD124D」と、クリーンロボット用標準コントローラ「SR200」を販売開始した […]
ヘラマンタイトン(東京都渋谷区)は、パネルエッジにはめ込むだけで、ケーブルや配管を固定できる簡単配線固定具「エッジクリップ」を販売開始した。 エッジクリップは、インシュロックタイ(結束バンド)と併用して、建築鋼材やケーブルラック、電路支持材のアングル […]
日立ハイテクノロジーズ(東京都港区)は、ウェーハ表面と裏面の両面検査が可能な検査装置「LS9300A-EG」を開発した。 回路パターン形成前のウェーハ表面検査は、わずかな異物や欠陥が不良の原因になるため、品質保証や異物管理に適用されているが、最先端デ […]