安川電機 新型半導体ウエハ搬送用ロボ、高精度・低振動を実現

ダイレクトドライブモータ採用

安川電機は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新たなラインアップとして、ダイレクトドライブモータを採用した「SEMISTAR-GEKKO MD124D」と、クリーンロボット用標準コントローラ「SR200」を販売開始した。
　
近年、半導体の技術革新は製造プロセスにおけるナノメートルレベルの微細化技術や、多層化技術によって成り立っており、この進化に貢献するウエハ搬送用のクリーンロボットが求められている。
　
新クリーンロボットは、アームに減速機を必要としない同社のACサーボモータ「Σ-7シリーズ」のダイレクトドライブモータを搭載しており、これにより高精度・低振動を実現。ロボットの取り付け・搬送装置レイアウトの完全互換性や、従来機種と比べて、絶対位置精度、繰り返し位置決め精度は2倍に向上し、搬送時のハンド振動は6分の1と大幅に低減している。
　
適用ウエハサイズは300ミリメートル、ウエハ把持方式はパッシブグリップ（真空吸着グリップ、エッジグリップも対応可能）。
　
併せて販売するコントローラSR200は、駆動能力や拡張性を向上させており、同社のクリーンロボット全般に適用。同社標準電機品のマシンコントローラを採用しており、従来機種比で体積が42％、質量35％減と、小型・軽量化を実現。SEMI規格などの主要規格に準拠している。