CKD、シロキサン・オゾンリムーバ「SFX」発売　不純物除去率99%以上

CKDは、シロキサンの吸着とオゾンの分解に特化したリムーバ「SFX」を発売した。半導体製造の後工程や実装工程における、圧縮エアおよび窒素ガスのクリーン化を目的とし、独自開発の活性炭フィルタを搭載することで、対象物質を99%以上の高い割合で除去が可能。加圧状態を維持したまま大流量で使用でき、生産性を損なうことなく高度な浄化ができる。
設置環境や必要流量に合わせて選べる標準と大流量の2サイズを展開し、フィルタやレギュレータといった調質機器とのモジュール接続に対応しており、装置内の省スペース化に寄与する。

https://www.ckd.co.jp/kiki/jp/product/detail/1070