IKO、アライメントステージの回転テーブルにアブソリュートエンコーダ仕様を追加 原点復帰不要でタクトタイム短縮

IKO（日本トムソン）は、メカトロ製品である「アライメントステージSAシリーズ」の回転テーブル（無限回転タイプ）について、新たにアブソリュートエンコーダ仕様を追加した。
アライメントステージSAシリーズは、メンテナンス性に優れた直動案内機器「リニアウェイL」と、剛性および回転精度に定評のある「クロスローラベアリング」をテーブル案内部に採用した位置決めステージ。低断面でコンパクトなボディと高い位置決め精度を特長とし、半導体製造装置や精密検査装置などのアライメント機構や位置決め機構において幅広く利用されている。
今回追加されたアブソリュートエンコーダ仕様は、スケール上の絶対位置情報を読み取る方式を採用し、電源再投入時に必要となる原点検出動作や磁極位置の検出が不要となるため、装置の起動時間を短縮し、タクトタイムの向上に貢献する。また、高速シリアル通信を用いて位置計測を行うことで、高分解能を維持しながら高速移動が可能であるほか、位置情報をデジタルデータとして取得するため、従来のインクリメンタルエンコーダと比較して耐ノイズ性にも優れている。

https://www.ikont.co.jp/product/pdf/CAT2997_1_NewsRelease.pdf