日本トムソン、アライメントステージSAシリーズの回転ステージに無限回転仕様を発売

日本トムソン（IKO）は、アライメントステージ「SAシリーズ」の回転ステージについて、新たに無限回転仕様を追加した。
アライメントステージSAシリーズは、直動案内部に小形直動案内機器のリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動が可能なアライメントステージ。コンパクトなボディと高い位置決め精度により、ディスプレイ製造装置やレーザ加工機、各種製造・検査装置のワーク位置決め機構など幅広い用途で使用されている。
θ軸用回転ステージは、これまで回転角度が有限の仕様のみだったが、今回、360°を超える動作角や連続回転動作に対応した無限回転仕様を開発。直線位置決め用X軸テーブルSA DE/Xと無限回転使用の位置決め用テーブルSA DE/Tを組み合わせることで、コンパクトなXYθ軸アライメントステージを構築できるほか、薄型・コンパクトで、高分解エンコーダ内蔵のダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することで高分解能と高応答を実現している。

https://www.ikont.co.jp/product/pdf/TSA7-25012.pdf