浜松ホトニクス ピンホール検査ユニット、1μmの穴欠陥を高速検出

2020年2月26日

浜松ホトニクスは、直径1μmまでの穴欠陥を高速に検出する「ピンホール検査ユニットC15477」を開発、3月2日から販売開始する。

新製品は、光源ユニットから光を照射し、ワークの穴欠陥を通過した光を集光ユニットで効率的に集め、光電子増倍管を用いたピンホール検査ユニットにより信号として検出し、ワークの微小な穴欠陥の有無を判別する。穴欠陥の最小検出面積が従来比で約4分の1となり、燃料電池自動車向けの燃料電池のセパレータやパウチ型二次電池のアルミラミネート外装、薄板のプレス加工品などの検査精度の向上が期待される。

また、受光面積の大きい光電子増倍管を採用しており、従来は4台の検査ユニットが必要だった幅480×奥行き180ミリメートルと大面積の板状ワークを1台で検査することが可能となった。光源ユニットはLEDモジュールの組み合わせによりワークのサイズに合わせた調整が可能。

光源ユニット、集光ユニットとともに、大面積の薄い金属板などの板状ワーク向け検査ユニットとして、国内外の自動車関連メーカーなどに向けて販売していく。

ピンホール検査ユニット(右)と光源ユニット(左上)、集光ユニット(左下)