横河電機/横河ソリューションサービス リアルタイムコントローラ 「e-RT3 Plus」 Linux OSを搭載

2016年12月14日

  横河電機/横河ソリューションサービスは、今年4月、横河ミニマルアプリケーションラボを開設し、半導体製造への取り組みを強めている。 SEMICON Japanでは、半導体製造に関連した同社の最新装置・ソリューションを展示する。 レンジフリーコントローラ「FA-M3V」、組み込みコントローラ「e-RT3」は半導体製造用途でも実績が高い。 「e-RT3」は、ボードとPLCの強みを融合した次世代コントローラ。 堅牢性・リアルタイム性・安定性を特徴に組み込みデータベース機能を搭載できるため、組み込みコントローラとしてだけでなく、従来パソコンが担っていた製造工程管理用コントローラとしても使え…