ウェハレベル真空封止技術を活用オムロンがMEMS非接触温度センサ10月出荷

2013年6月19日

オムロンは、赤外線センサとしては世界で初めて、ウェハレベル真空封止技術を活用し、90度の広い視野範囲と高精度なエリア温度検知を実現した、16×16素子MEMS非接触温度センサ=写真=を開発した。人感センサ向けに10月から出荷を開始、2015年度に販売目標20億円を目指す。 MEMS非接触温度センサは、対象物から放射する赤外線エネルギーを、サーモパイル部(熱電対列)で熱に変え、2種類の金属接点間の温度差に応じた熱起電力により温度を計測する。 従来、サーモパイル部で変換した熱の多くが空気を通して逃げてしまうため、金属接点間の温度差を大きくできなかった。今回、世界で初めてサーモパイル部をチップ内で真…