横河電機は、半導体製造装置や電子部品・電子機器組立装置などへの組み込みコントローラ「ｅ―ＲＴ３」用の多チャネルＲＳ通信モジュールを販売開始した。価格はオープンだが、市場予想価格は基本構成（ベース、電源、ＣＰＵ、ＤＩＯ）で25万円から、多チャネルＲＳ通信モジュールで６万円から。海外含む販売目標は２０１３年度５００台、14年度１０００台。
新製品は、シリアル通信のＲＳ通信（ＲＳ―２３２Ｃ、ＲＳ―４２２、ＲＳ―４８５）に対応する業界で初めて最多８チャネルに対応した通信モジュールで、第１弾としてＲＳ―２３２Ｃ用を発売した。１モジュール当たり８チャネルに対応できるため製造装置の小型化が図れ、しかも同社従来品のＲＳ通信モジュール（２チャネルで４モジュール）に比べ、価格が３分の１になることで、大幅なコスト削減が可能。
半導体製造装置や電子部品・電子機器組み立て装置の制御コントローラには、ボードタイプのコンピュータやＰＬＣ（プログラマブル・コントローラ）が使用されている。ボードコンピュータは、１ボード当たりチャネル数（調節器への信号出力数、センサからの信号入力数）は多いが、サイズが大きく高価格になる。ＰＬＣは、比較的安価でモジュール１個当たりのサイズは小さいものの、チャネル数が少ないためモジュールが複数必要になる。このため、ｅ―ＲＴ３に、多チャネルＲＳ通信モジュールを使用することで装置の小型化・低コスト化が図れる。
主な用途は、ＲＳ―２３２Ｃ通信対応の半導体やフィルムなどの各種製造装置の組み込みコントローラ。
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