オールインワン型ウエハ搬送ロボットダイヘンが1月発売

2012年12月19日

ダイヘンは、ロボット本体にコントローラを内蔵した、オールインワン型ウエハ搬送クリーンロボット「UTX―RD5700」(3軸円筒座標形)、「UTW―RD5700」(4軸円筒座標形)=写真=を2013年1月から発売する。マニピュレータとティーチペンダントを含む標準価格は、UTX―RD5700(シングルアーム)158万円、UTW―RD5700(デュアルアーム)198万円。

UTX―RD5700/UTW―RD5700は、同社のウエハ搬送ロボット「ACTRANS」シリーズの新製品で、300ミリウエハ対応のシングルアーム/デュアルアームのウエハ搬送ロボット。RoHS指令対応。

従来機種の高機能性・高信頼性を継承するとともに、コントローラを内蔵し、省フットプリント・省エネルギー・省コスト設計を実現した。

高効率の駆動部伝達機構で、従来機より約50%の省エネルギー性能と、コントローラ内蔵により同約50%の省スペースを実現した。さらに、最適化設計により省コスト設計を可能にしている。

走行軸との組み合わせにより、マルチFOUPへアクセスが可能。

同社では、各種センサやハンドのカスタマイズに加え、反転軸追加など、幅広いオプション機能にも対応する。また、同社の従来機種と互換性を保持しており、従来機からの載せ換えにも対応する。

主な用途は、ウエハ加工関連装置や前工程装置、検査装置などの半導体製造装置。