主な見どころ

2012年12月5日

【前工程プロセス装置・部品ゾーン】回路設計・パターン設計・マスクレチクル用製造装置・その他設計工程関連装置、単結晶製造装置・ウエーハ加工装置・ウエーハ検査評価装置・その他関連装置、露光描写装置・レジスト処理装置・エッチング装置・ドライブエッチング装置・熱処理装置・薄膜形成装置・イオン注入装置・CMP装置・洗浄乾燥装置など。 【後工程プロセス装置・部品ゾーン】ダイシング装置・ボンディング装置・パッケージング装置・封止装置・マーキング装置・はんだ付装置・その他組立関連装置、バーンイン装置・ロジックテスト装置・メモリ試験装置・リニアテストシステムなど。 【総合・材料・設備関連ゾーン】各種搬送システム…