日本エフ・エーシステム短時間で3D形状計測卓上型計測装置部品外観検査に最適

オプテックス・エフエー(小國勇社長)の子会社で画像機器メーカーの日本エフ・エーシステム(東京都品川区西五反田4―32―1、TEL03―5740―7521、小國勇社長)は、短時間で3D形状計測が可能な卓上型3D形状計測装置「3D―Eye スキャナー計測検査モデル」を発売した。価格は700万円から。今年度の国内販売目標は30台。 同社は、光切断法による幅の広いレーザ光源で、ワークを一括スキャンする測定方式を採用し、短時間で3D形状計測を行う簡易型卓上計測装置3D―Eyeスキャナーを昨年発売した。

今回発売した計測検査モデルは、ワークの大きさ(高さ・体積など)を測る従来の計測装置に、検査対象専用のソフトウェアを追加した検査装置。OK/NGの判別が可能で、研究開発用途のほか、通常の計測装置では難しい少量製造ラインでの3D外観検査に対応する。

同社ではカスタマイズとして、表面に微細なボール状電極を有するBGAのバンプ高さ・直径・体積・コプラナリティーなど、はんだ接合性の検査を行う「BGAバンプ計測検査モデル」や、「PCB用基材計測検査モデル」、「はんだフィレット計測検査モデル」、「膜厚分布計測検査モデル」など、ユーザーの検査対象に応じたカスタマイズを行う。

検査台は縦横(X、Y)2方向に動き、測定範囲は、1軸仕様75×15ミリ、2軸仕様標準タイプ75×60ミリ、同ワイドタイプ125×105ミリ。測定視野(スキャン幅)は15ミリ。Z軸測定可能段差1ミリ、最大駆動速度100ミリ/秒。

主要販売先は半導体業界、電子部品業界。なお、ソフトウェアを搭載しない従来型も引き続き販売する。

同社は、1991年設立、産業用画像機器の開発・設計・製造・輸出入を行っており、07年にオプテックス・エフエーが子会社化した。

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