低コストで高速計測フルオートチップカウンターシステム星和電機が発売

星和電機(増山晃章社長)は、ウェハー上のチップ個数をフルオートで計測する低コスト・高品質・高速・コンパクトなチップカウンターシステム「CCS3000」(スキャナー方式)、「CCS4000」(カメラ方式)2機種を発売した。価格は2機種ともオープン。

初年度の販売目標は合わせて50台。

同社は、すでにマニュアルタイプのチップカウンターシステムを発売しており好評を得ている。今回、国内外の市場ニーズを反映し、シンプル設計で低コスト・高品質・高速・コンパクトなタイプを製品化した。

カセットにセットされたワークを自動で取り出し、撮像ユニットで画像を取り込み、あらかじめ登録されたチップ画像と、取り込んだ画像とパターンマッチングにより比較し、チップ数を計測する。計測終了後は、取り出したワークを元のカセットに収納する。

非接触で計測するのでワークを傷つけることがない。独自のアルゴリズムで高速かつ高精度に計測する。

ワークが傾いていても、画像回転補正機能により正確な計測ができ、良品以外のNGチップも計測できる。

画像取り込み視野によるチップサイズは0・2ミリ角以上。画像取り込み方式は、スキャナー方式とカメラ方式の2種類があり、シートは1カセット最大25枚収納可能。

1カセットのタクトタイムは、スキャナー方式20分(800dpi)、カメラ方式7分。ウェハーサイズは、スキャナー方式2~8インチ、カメラ方式2~6インチ。分解能は、スキャナー方式100~1600dpi(7種類から1つ選択)、カメラ方式1000万画素3840H×2768V。

スキャナー方式のCCS3000は、簡易画像検査結果を後工程の装置(マップソーター、ダイボンダー)に出力できる。

オプションで8インチリングに対応可能。従来のLEDチップに加え、パワーデバイス/高周波デバイス/フォトダイオード/レーザーダイオード/ホール素子などの半導体の計測が可能である。

外形寸法は、スキャナー方式W510×H928×D1050ミリ、76キログラム。カメラ方式480×1078×970ミリ、72キログラム。

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