低コストで高速計測フルオートチップカウンターシステム星和電機が発売

星和電機（増山晃章社長）は、ウェハー上のチップ個数をフルオートで計測する低コスト・高品質・高速・コンパクトなチップカウンターシステム「ＣＣＳ３０００」（スキャナー方式）、「ＣＣＳ４０００」（カメラ方式）２機種を発売した。価格は２機種ともオープン。

初年度の販売目標は合わせて50台。

同社は、すでにマニュアルタイプのチップカウンターシステムを発売しており好評を得ている。今回、国内外の市場ニーズを反映し、シンプル設計で低コスト・高品質・高速・コンパクトなタイプを製品化した。

カセットにセットされたワークを自動で取り出し、撮像ユニットで画像を取り込み、あらかじめ登録されたチップ画像と、取り込んだ画像とパターンマッチングにより比較し、チップ数を計測する。計測終了後は、取り出したワークを元のカセットに収納する。

非接触で計測するのでワークを傷つけることがない。独自のアルゴリズムで高速かつ高精度に計測する。

ワークが傾いていても、画像回転補正機能により正確な計測ができ、良品以外のＮＧチップも計測できる。

画像取り込み視野によるチップサイズは０・２ミリ角以上。画像取り込み方式は、スキャナー方式とカメラ方式の２種類があり、シートは１カセット最大25枚収納可能。

１カセットのタクトタイムは、スキャナー方式20分（８００ｄｐｉ）、カメラ方式７分。ウェハーサイズは、スキャナー方式２～８インチ、カメラ方式２～６インチ。分解能は、スキャナー方式１００～１６００ｄｐｉ（７種類から１つ選択）、カメラ方式１０００万画素３８４０Ｈ×２７６８Ｖ。

スキャナー方式のＣＣＳ３０００は、簡易画像検査結果を後工程の装置（マップソーター、ダイボンダー）に出力できる。

オプションで８インチリングに対応可能。従来のＬＥＤチップに加え、パワーデバイス／高周波デバイス／フォトダイオード／レーザーダイオード／ホール素子などの半導体の計測が可能である。

外形寸法は、スキャナー方式Ｗ５１０×Ｈ９２８×Ｄ１０５０ミリ、76キログラム。カメラ方式４８０×１０７８×９７０ミリ、72キログラム。