星和電機大幅なコストダウン実現チップカウンターシステム改良版発売

星和電機（増山晃章社長）は、ＬＥＤチップ、フォトダイオード、レーザーダイオード、シリコンデバイスなどのチップ数を計測する「チップカウンターシステム」のＣＣＳ１０００（スキャナータイプ）と、ＣＣＳ２０００（カメラタイプ）の改良版を、それぞれ「ＣＣＳ１１００」、「ＣＣＳ２１００」＝写真＝として発売した。オープン価格。販売目標は初年度２機種で１００台。

同システムは、ウエハーチップをセットし、取り込まれた画像と、あらかじめ登録されたチップ画像とをパターンマッチング（相関係数）により比較認識し、チップ数を計測するシステム。オプションのバーコードリーダーを使用することで、異なった品種でも自動的に設定ファイルを読み出し、計測することもでき
る。

エキスパンドされたウエハーチップの数を独自アルゴリズムで高速かつ高精度に計測。画像取り込み方法は、スキャナータイプとカメラタイプの２種類を用意。パソコンを使用したコンパクト設計で、リーズナブルなシステムを実現した。

最大で６インチウエハーまで計測が可能。バッドマーク（ＮＧチップ）があっても、正確に良品チップをカウントし、グリップリングタイプ、シートタイプでも計測が可能。ウエハーの画像回転補正機能により、ワークのセッティングが容易。日本語表示と英語表示の切り替え可能。

ＣＣＳ１１００（スキャナータイプ）は、市販のスキャナーを利用し、大幅なコストダウンを実現。60カ月リースなら月額リース料２万３２００円（税別）から。

ＣＣＳ２１００（カメラタイプ）は、計測範囲が６インチワークまで対応可能。高解像度レンズを使用し、カメラは９００万画素から１０００万画素にアップした。また、冷陰極管照明をＬＥＤ照明に変更し、構造の見直しによりコストダウンを実現した。