セミコン・ジャパン主要各社の出展製品　山武プロセスデータ解析ツール「Orchard Tequira」　複数データの取込・可視化に対応トリートメント機能で使い易い

山武は、半導体製造装置市場に対応した各種ソリューションをグループ会社のテムテック研究所と一緒に出展し、アピールする。

主な製品はプロセスデータ解析ツールＯｒｃｈａｒｄ
Ｔｅｑｕｉｒａ、プラズマリアルタイムモニタＨｅｒｃｕｌｅｓ、工場省エネソリューションＥＮＥＯＰＴ、高純度特殊ガス圧力センサ、腐食性流体ＰＦＡ圧力センサ、圧力計測ソリューションなどを中心に展示する。

このうちプロセスデータ解析ツールＯｒｃｈａｒｄ
Ｔｅｑｕｉｒａは、ＥＥＱＡ／ＥＥＱＭ／ＦＤＣシステムを構築・運用する際に最も手間のかかるＥＥＳデータの可視化・加工・解析を、スピーディかつシームレスに実現するツール。

カスタマイズで様々な入出力形式、データソース（Ｆｉｌｅ、ＤＢなど）に対応し、プロセス挙動と検査装置のデータ解析が同時に行える。また、多様な装置のデータ解析が一つのツールで行え、複数のデータ取込み、可視化が出来る。

さらに、異常や装置のプロセス品質を代表する特徴量を、プログラミングレスで抽出（切り出し、代表値化、並べ替え）できるデータトリートメント機能も内蔵している。しかも、データトリートメント機能によって得られた特徴量に対して、統計解析が行え、検査データや他装置のデータを追加し、必要に応じた挙動解析なども可能。（ｈｔｔｐ：ｗｗｗ．ａｚｂｉｌ．ｃｏｍ／ｊｐ）