各社のFA関連製品 東研 X線検査装置「TUX-5000F」 世界最高0.1ミクロンの分解能

バーコード・2次元コードスキャナーの大手メーカーである東研は、オンリーワン技術を開発思想に掲げ取り組んでいるが、X線検査装置でも分解能ナノの世界を実現、非破壊検査領域を拡大し注目を集めている。

独自開発の電子銃によりナノの分解能を持つX線検査装置は、世界最高の高分解能0・1ミクロンを実現したTUX―5000Fのほか、傾斜CT対応顕微検査装置TUX―3210、汎用ナノフォーカス顕微装置TUX―3200、0・4ミクロン高輝度・高倍率検査装置TUX―3000W、ナノフォーカスCT専用装置TOHKEN―SkyScan2011、インライン・オフラインX線自動検査TMXシリーズ、専用オプション機器をそろえている。

分解能0・1ミクロンのTUX―5000Fは、X線源に新開発のFE型電子銃を搭載し低電圧でも高輝度の撮像ができる。そのため、これまで内部検査が難しかったX線の透過率が高いカーボンなどの素材でも高コントラストの画像が得られる。

モニター倍率は1万倍。また、検査物を回転・傾斜させても観察ポイントを外さないユーセントリックステージを標準装備している。
(http://www.tohken.co.jp)

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