バーコード・２次元コードスキャナーの大手メーカーである東研は、オンリーワン技術を開発思想に掲げ取り組んでいるが、Ｘ線検査装置でも分解能ナノの世界を実現、非破壊検査領域を拡大し注目を集めている。
独自開発の電子銃によりナノの分解能を持つＸ線検査装置は、世界最高の高分解能０・１ミクロンを実現したＴＵＸ―５０００Ｆのほか、傾斜ＣＴ対応顕微検査装置ＴＵＸ―３２１０、汎用ナノフォーカス顕微装置ＴＵＸ―３２００、０・４ミクロン高輝度・高倍率検査装置ＴＵＸ―３０００Ｗ、ナノフォーカスＣＴ専用装置ＴＯＨＫＥＮ―ＳｋｙＳｃａｎ２０１１、インライン・オフラインＸ線自動検査ＴＭＸシリーズ、専用オプション機器をそろえている。
分解能０・１ミクロンのＴＵＸ―５０００Ｆは、Ｘ線源に新開発のＦＥ型電子銃を搭載し低電圧でも高輝度の撮像ができる。そのため、これまで内部検査が難しかったＸ線の透過率が高いカーボンなどの素材でも高コントラストの画像が得られる。
モニター倍率は１万倍。また、検査物を回転・傾斜させても観察ポイントを外さないユーセントリックステージを標準装備している。
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