工場・設備投資 2026年2月4日 ADEKA、茨城県神栖市の鹿島化学品工場に次世代EUVリソグラフィ向けMOR用金属化合物プラントを新設 ADEKAは、茨城県神栖市の鹿島化学品工場内に、次世代EUVリソグラフィ(高NA……
工場・設備投資 2023年7月23日 ADEKA、千葉県袖ケ浦市の千葉工場でEUVフォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が竣工 ADEKAは、千葉県袖ケ浦市北袖3-1の千葉工場で建設中だったEUV(極端紫外線……