特集 2010年2月17日 需要回復示すFAセンサー 半導体・HPD製造装置、電子部品実装機向け投資復活 太陽光発電・安全関連など新分野も伸長 トレーサビリティニーズ増大検査、製造履歴で高まる役割 Fa用センサー市場は、09年度第1四半期(4~6月)を底にして順調に回復を見せて……