東京応化工業、福島県郡山市の郡山工場に半導体用フォトレジストの製造棟を新設

東京応化工業は、EUV用フォトレジスト、ArF用フォトレジスト、KrF用フォトレジスト等の各種半導体用フォトレジストの主力生産拠点のひとつである郡山工場(福島県郡山市待池台)に新製造棟を建設する。2024年7月に着工し、2026年下期より稼働を開始する予定。
新製造棟は製造ラインを自動化・デジタル化したスマートファクトリーとする計画であり、高い安全性・生産効率を追求するとともに、世界最高品質のフォトレジスト製造を目指す。建築面積は4800平方メートル、投資金額は、200億円以上。

https://www.tok.co.jp/news/2023/230808_4