- 2018年12月19日
日立ハイテクノロジーズ、高感度化・高スループットでウェーハの両面検査可能
日立ハイテクノロジーズ（東京都港区）は、ウェーハ表面と裏面の両面検査が可能な検査装置「LS9300A-EG」を開発した。 回路パターン形成前のウェーハ表面検査は、わずかな異物や欠陥が不良の原因になるため、品質保証や異物管理に適用されているが、最先端デ […]
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「両面検査」の検索結果1件
両面検査
日立ハイテクノロジーズ（東京都港区）は、ウェーハ表面と裏面の両面検査が可能な検査装置「LS9300A-EG」を開発した。 回路パターン形成前のウェーハ表面検査は、わずかな異物や欠陥が不良の原因になるため、品質保証や異物管理に適用されているが、最先端デ […]
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