
SCREENホールディングスは、滋賀県彦根市の彦根事業所に建設していた半導体製造装置の新工場「S3-5(エス・キューブ ファイブ)」が完成し操業を開始した。
新工場は枚葉式洗浄装置などの生産を行う。鉄骨造地上3階建で、建築面積は約4500平方メートル、延床面積は約1万3534平方メートル。総工費は約80億円。
SCREENホールディングスは、滋賀県彦根市の彦根事業所に建設していた半導体製造装置の新工場「S3-5(エス・キューブ ファイブ)」が完成し操業を開始した。
新工場は枚葉式洗浄装置などの生産を行う。鉄骨造地上3階建で、建築面積は約4500平方メートル、延床面積は約1万3534平方メートル。総工費は約80億円。