堀場製作所（HORIBA）は、ブースでは各工程におけるユーザーの要望・課題、例えば流体制御での「ガス流量制御による装置間のばらつきを削減し、歩留まりを向上させたい」、薬液濃度モニタリングにおける「薬液に接液することなく、非接触で安全にコンタミのリスクなく薬液濃度の測定を行いたい」、フォトマスク異物検査における「レティクル/ブランクス/ペリクルに付着した異物を迅速に測定＆除去したい」、膜厚・異物評価での「金属薄膜の膜厚やICパッケージ内の不良原因を評価したい」、チャンバー状態監視での「プロセス結果に影響のある残留ガスを確認し、歩留まり・稼働率を向上させたい」、エンドポイント検出での「プラズマプロセスのエンドポイントやプラズマの分布制御により、生産性を向上させたい」における解決策を提案する。
https://www.horiba.com/jpn/company/events/horiba-showcase/semicon-japan-2022/
