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- 2015年2月25日
シュマルツ、吸着跡防止とESD対策を両立する真空パッド「HT1-ESD」発売

シュマルツは、電子機器製造における吸着跡の防止と静電気放電(ESD)対策を同時に実現する新しい真空パッド材質「HT1-ESD」を発売した。
同製品は、吸着対象に跡を残しにくい「マークレスゴム HT1」と、静電気拡散性を持つ「NBR-ESD」の特性を組み合わせた新素材を採用した真空パッド。最大170度までの耐熱性を備え、高い耐オゾン性と耐摩耗性により長寿命を実現している。
導電性を付与するためのコーティング剤やカーボンブラックといった添加物を含んでおらず、これによって摩耗による導電性能の低下や剥離した添加物によるプロセス汚染のリスクを排除し、クリーンなシステムを実現。半導体ウェハーや繊細な電子部品の搬送において、静電気による損傷と吸着跡による汚染の両方を防ぐことができる。