フェローテック、熊本県菊池郡大津町に精密再生洗浄の新工場「熊本工場」が竣工

フェローテックは、熊本県菊池郡大津町に建設していた「熊本工場」を竣工した。同工場は、半導体製造工場向けの装置設備の精密部品再生洗浄サービスを提供する国内最大級の拠点となる。新工場の敷地面積は3万平方メートル、建屋面積は1万3000平方メートル。従業員数は56名で、2028年には約200名を想定している。
工場にはPVD、CVD、エッチング装置部品の再生洗浄設備や、プラズマ溶射機、アーク溶射機などを導入。半導体回路の微細化が進む中、最先端の一桁ナノメートルまでの精密洗浄に対応する。また、摩耗や破損が生じた部材のコーティング補修・再生も行う。

https://www.ferrotec.co.jp/php/download.php?f=jp/20251030582768.pdf