東京エレクトロン九州、熊本県合志市に新開発棟を竣工

東京エレクトロンの開発・製造子会社である東京エレクトロン九州は、熊本県合志市に建設していた新開発棟「プロセス開発棟」を竣工した。
東京エレクトロン九州は、コータ/デベロッパ、洗浄装置、ウェーハボンダーをはじめとする三次元実装向け装置を開発・製造を主要事業とする新棟は、コータ/デベロッパ、洗浄装置の開発拠点として使用される。建設費用は約470億円。延床面積は約2万7000平方メートルで、構造は鉄骨造の地上3階（一部4階）建て、全免震構造を採用している。

https://www.tel.co.jp/news/ir/2025/20251015_001.html