
三菱電機は、パワー半導体の製造(ウエハプロセス工程)を行うパワーデバイス製作所の福山工場(広島県福山市大門町)に、同社として初となる12インチSi(ケイ素)ウエハ対応生産ラインの設置を完了した。
また、この生産ラインで製造したウエハを用いたパワー半導体チップを試作・評価した結果、設計どおりの性能が得られたことを確認し、2024年から量産へ移行。2025年度にはSiパワー半導体のウエハプロセス工程における生産能力を2020年度の2倍を目指す。
三菱電機は、パワー半導体の製造(ウエハプロセス工程)を行うパワーデバイス製作所の福山工場(広島県福山市大門町)に、同社として初となる12インチSi(ケイ素)ウエハ対応生産ラインの設置を完了した。
また、この生産ラインで製造したウエハを用いたパワー半導体チップを試作・評価した結果、設計どおりの性能が得られたことを確認し、2024年から量産へ移行。2025年度にはSiパワー半導体のウエハプロセス工程における生産能力を2020年度の2倍を目指す。