【セミコンジャパン2022 FA企業ブース紹介】インフィコン（ブース：5009）

インフィコンは、高速測定で時間を節約するインテリジェント機能（I-CAL, HYDRO-S, I-ZERO）搭載モデルのリークディテクターをはじめ、各種真空装置の残留ガス分析、半導体各種プロセスPVD・CVD・ETCHプロセス対応の先進モデルをラインナップした質量ガス分析計、5MHz、6MHzのラインナップはもちろん、様々な環境にマッチした膜厚計（水晶振動子）、限られたスペースに小型な真空計や急激な圧力変動を捉える高速応答性隔膜真空計、EtherCAT対応真空計等を出品する。

http://www.inficon.jp/