荏原製作所、半導体製造プロセス向け精密チラーを来年1月発売

荏原製作所は、半導体製造プロセスのサブファブスペースを効率的に利用できる小型高出力チラー「 RJ-SA型」を開発し、2022年1月の発売を目指す。

小型で冷却能力4.0kWの高出力でサブファブスペースの効率利用をサポート。低GWP冷媒(GWP:1380)対応。低環境負荷かつ漏えい時のリスクを低減。±0.1℃の高精度温度制御ができ、プロセスの安定性向上、歩留まり向上が可能となる。

https://www.ebara.co.jp/

オートメーション新聞は、1976年の発行開始以来、45年超にわたって製造業界で働く人々を応援してきたものづくり業界専門メディアです。工場や製造現場、生産設備におけるFAや自動化、ロボットや制御技術・製品のトピックスを中心に、IoTやスマートファクトリー、製造業DX等に関する情報を発信しています。新聞とPDF電子版は月3回の発行、WEBとTwitterは随時更新しています。

購読料は、法人企業向けは年間3万円(税抜)、個人向けは年間6000円(税抜)。個人プランの場合、月額500円で定期的に業界の情報を手に入れることができます。ぜひご検討ください。

オートメーション新聞/ものづくり.jp Twitterでは、最新ニュースのほか、展示会レポートや日々の取材こぼれ話などをお届けしています
>FA・自動化、デジタル化、製造業の今をお届けする ものづくり業界専門メディア「オートメーション新聞」

FA・自動化、デジタル化、製造業の今をお届けする ものづくり業界専門メディア「オートメーション新聞」

オートメーション新聞は、45年以上の歴史を持つ製造業・ものづくり業界の専門メディアです。製造業DXやデジタル化、FA・自動化、スマートファクトリーに向けた動きなど、製造業各社と市場の動きをお伝えします。年間購読は、個人向けプラン6000円、法人向けプラン3万円から(いずれも税抜)

CTR IMG