正反射/ショートレンジ 2種を追加発売
オプテックス・エフエーは、高精度レーザ変位センサ「FASTUS CDXシリーズ」の正反射タイプとショートレンジタイプを3月上旬から追加発売する。価格はいずれも35万円で、販売目標は年間3000台。
同シリーズは、従来比2.7倍以上となる世界最高のリニアリティを達成することで非接触での超高精度測定を可能としたレーザ変位センサで、Ethernet通信機能とWEBサーバの搭載により、WEB上で簡単にセンサの測定値や設定を閲覧・制御できる。
今回追加した製品は、測定範囲15±1ミリメートルで分解能0.01マイクロメートルの正反射タイプと、測定範囲30±5ミリメートル（拡散反射設置時）で分解能0.05マイクロメートルのショートレンジタイプ。ショートレンジのワイドタイプは世界最高のリニアリティ±0.015％F.S.を達成しており、測定誤差を最小限にしている。
ガラスやウェハなど透明体・鏡面体の測定に最適で、FPD・半導体・電子部品業界をはじめとした産業分野で幅広く使用できる。
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