顕微鏡ユニットも　レーザドップラ振動計用小野測器が三次元光学ユニット

小野測器は、レーザドップラ振動計用の三次元光学ユニットＬＶ―３８００と顕微鏡ユニットＬＶ―０３８１／三次元顕微鏡ユニットＬＶ―０３８３を発売した。

三次元光学ユニットＬＶ―３８００は、接触式センサの使用が困難な質量負荷の影響を受ける構造物、超音波振動体や圧電素子などの３軸方向に発生する振動を３軸のレーザ光で検出する。振動周波数の解析範囲は最大１００ｋHzで、対象の３軸方向に発生する振動の速度、加速度、変位の観測と各種の周波数解析が可能である。

主な特徴は(1)スポット径約30μｍのレーザ光で３軸方向の振動を検出(2)レーザ光と同軸で検出部位の観測と画像記録が可能(3)左右、倒立使用も可能。電子デバイス、家電メーカーなどに初年度10台の販売を計画。本体販売価格は１５０万円。

一方、顕微鏡ユニットＬＶ―０３８１／三次元顕微鏡ユニットＬＶ―０３８３は、微小物体の振動検出用。接触式で検出が困難なＭＥＭＳや圧電素子、微小構造体、超音波駆動の対象振動の検出を可能にした。

ＬＶ―０３８１は１軸方向の顕微鏡ユニット。三次元顕微鏡ユニットＬＶ―０３８３は３台のレーザドップラ振動計により、３軸方向に発生する振動を非接触で検出するタイプ。

各ユニットは同軸落射照明と倍率の違う２台のデジタルビデオカメラ（オプション）で素早く正確なレーザ光の照射位置決めと、静止画像記録ができる。振動周波数の解析範囲は最大１００ｋHzで、対象のＸ・Ｙ・Ｚ方向に発生する振動の速度、加速度、変位の観測と各種の周波数解析が可能である。

主な特徴は(1)微小物体、微小領域の振動検出に最適(2)２つの視野倍率で同時観察など。初年度15台の販売を計画。本体販売価格はＬＶ―０３８１が２５０万円、ＬＶ―０３８３が３５０万円。