顕微鏡ユニットも レーザドップラ振動計用小野測器が三次元光学ユニット

2012年12月19日

小野測器は、レーザドップラ振動計用の三次元光学ユニットLV―3800と顕微鏡ユニットLV―0381/三次元顕微鏡ユニットLV―0383を発売した。

三次元光学ユニットLV―3800は、接触式センサの使用が困難な質量負荷の影響を受ける構造物、超音波振動体や圧電素子などの3軸方向に発生する振動を3軸のレーザ光で検出する。振動周波数の解析範囲は最大100kHzで、対象の3軸方向に発生する振動の速度、加速度、変位の観測と各種の周波数解析が可能である。

主な特徴は(1)スポット径約30μmのレーザ光で3軸方向の振動を検出(2)レーザ光と同軸で検出部位の観測と画像記録が可能(3)左右、倒立使用も可能。電子デバイス、家電メーカーなどに初年度10台の販売を計画。本体販売価格は150万円。

一方、顕微鏡ユニットLV―0381/三次元顕微鏡ユニットLV―0383は、微小物体の振動検出用。接触式で検出が困難なMEMSや圧電素子、微小構造体、超音波駆動の対象振動の検出を可能にした。

LV―0381は1軸方向の顕微鏡ユニット。三次元顕微鏡ユニットLV―0383は3台のレーザドップラ振動計により、3軸方向に発生する振動を非接触で検出するタイプ。

各ユニットは同軸落射照明と倍率の違う2台のデジタルビデオカメラ(オプション)で素早く正確なレーザ光の照射位置決めと、静止画像記録ができる。振動周波数の解析範囲は最大100kHzで、対象のX・Y・Z方向に発生する振動の速度、加速度、変位の観測と各種の周波数解析が可能である。

主な特徴は(1)微小物体、微小領域の振動検出に最適(2)2つの視野倍率で同時観察など。初年度15台の販売を計画。本体販売価格はLV―0381が250万円、LV―0383が350万円。