非接触変位センサ発売東陽テクニカ

2010年9月22日

東陽テクニカ(渡辺洋介社長)は、米・MTIインスツルメンツ社製の非接触変位センサとして、「静電容量式変位センサ」(価格56万円)と「光ファイバ式変位センサ」(同152万円)の販売に注力している。初年度1億円、次年度2億円の売り上げを見込んでいる。 静電容量式変位センサは、測定物が導体でグランド(アース)が取れていないと測定できなかったが、新製品は半導体(半絶縁物)や誘導体、さらには回転シャフトや空気軸受けなどグランドが取れない製品でも測定できるのが大きな特徴。測定分解能は最高0・1nm、応答周波数最大20kHz。 MTI社の静電容量式変位センサは、半導体ウエハの厚さ測定や自動車などのブレーキロ…