工場・設備投資 2026年2月4日 ADEKA、茨城県神栖市の鹿島化学品工場に次世代EUVリソグラフィ向けMOR用金属化合物プラントを新設 ADEKAは、茨城県神栖市の鹿島化学品工場内に、次世代EUVリソグラフィ（高NA……
