半導体ウエハ搬送用クリーンロボット tag

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• 2020年6月17日

安川電機 新型半導体ウエハ搬送用ロボ、高精度・低振動を実現

ダイレクトドライブモータ採用 安川電機は、半導体ウエハ搬送用クリーンロボットの新……