堀場エステック、京都・福知山のR&D新棟が本格稼働 半導体向け流量制御技術を強化

堀場エステックは、京都府福知山市の「京都福知山テクノロジーセンター」に増設した新棟が本格稼働を開始した。投資総額は約40億円。
同センターは2013年に開設された研究開発専用施設で、今回の増強により主力製品であるマスフローコントローラー（MFC）の開発に不可欠な気体流量校正設備と、液体気化実験設備の処理能力をそれぞれ2倍に拡張。これにより最先端の半導体プロセスで求められる新材料や、微小から大流量までの幅広い測定域に対応する。また新たに「エンジニアリング室」や「プラズマ実験室」を設置し、高度なデータマネジメント技術を活用したデジタルツインモデルの構築や、プラズマプロセスの研究を推進。温室効果ガスの計測・無害化技術の開発による環境負荷低減ビジネスの創出も目指す。隣接地では2026年春に「京都福知山工場」の稼働も予定されており、研究開発から生産までを一体で担う拠点として連携を強化していく。

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