ADEKA、茨城県神栖市の鹿島化学品工場に次世代EUVリソグラフィ向けMOR用金属化合物プラントを新設

ADEKAは、茨城県神栖市の鹿島化学品工場内に、次世代EUVリソグラフィ（高NA EUV）向けMOR（金属酸化物レジスト）用金属化合物の専用プラントを新設する。投資額は32億円。
半導体は高集積化が進み、微細な回路パターン形成のため、従来のEUV露光より解像度を高めた「高NA EUV露光」の本格導入が見込まれている。これに伴ってフォトレジスト材料は従来のCAR（化学増幅型レジスト）から、新コンセプトのMORへの移行が予測されている。
新プラントで製造するMOR用金属化合物は、フォトレジストのEUV吸収率やエッチング耐性を向上させるキーマテリアル。すでに既存のALD材料製造ラインで量産・供給を開始しており、高NA EUV露光の本格導入を見据え、今回の専用プラント新設を決定した。
新プラントの延床面積は1050平方メートル。2026年4月に着工し、2028年4月の営業運転開始を予定する。建屋内には将来の需要増に対応する拡張スペースも確保し、次世代リソグラフィ工程向けの新規材料製造も検討する。

https://www.adeka.co.jp/news/2025/10/251031mor.html