安川電機、テクニカルレポート公開「トータルソリューションにて世界の半導体を支える」

安川電機は、テクニカルレポート「安川電機のトータルソリューションにて世界の半導体を支える～SEMICON Japan 2023に出展～」を公開した。
レポートではSEMICON Japan 2023で展示した技術・製品を紹介し、クリーン度向上と振動低減、高精度を実現した半導体ウエハ搬送用の真空用ロボット「SEMISTAR-GEKKO VD31HQF」と大気用クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」、業界最高クラスのモーション性能を持ち、デジタルソリューションを実現するサーボドライブ「Σ-X FT56」を使ったシステムなどソリューションを解説している。