浜松ホトニクスは４月１日から、ＰＬＣ接続に対応し、小型で組み込みに適した膜厚計の新製品「オプティカルナノゲージＣ１３０２７」＝写真＝を、フラットパネルディスプレイや半導体の塗布、薄膜成膜などの製造装置や検査メーカ向けに発売する。
同製品は、分光干渉法を用いた非接触の膜厚測定装置。従来製品をアナログ出力対応にし、ＰＬＣ接続を容易にした。装置内の分光器を小型化し、設置面積を従来品に比べて約３０％削減。製造装置や検査装置にインラインモニターとして組み込みが容易になった。
さらに、色計測の機能も追加し、膜厚測定と同時にフィルムやＦＰＤの色むらの有無の確認も可能になった。解析アルゴリズムも見直し、従来品の２倍となる最速２００〓まで高速測定でき、タクトタイム短縮に貢献する。
また、オプティカルナノゲージシリーズでは、最も薄い１０ナノメートルの極薄膜測定もでき、１０ナノメートル～１００マイクロメートルと幅広い範囲の膜厚測定に対応可能となった。
これにより、インラインでの高速・高精度な膜厚測定を長時間安定的に行うことができる。
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