ジャパンオートニクス 半導体・液晶業界向けマッピングセンサ発売 櫛型でローコスト実現

ジャパンオートニクス（長野県上伊那郡箕輪町三日町６４５―１、ＴＥＬ０２６５―７９―８５７０、權寧基社長）は、新たに半導体・液晶業界向けマッピングセンサ「ＢＷＭシリーズ」を発売した。目標販売数は１０００台／年。

従来、ウエハが格納されているカセットに正常に収納されているかどうかを検出するためには、マッピング用のファイバセンサを複数用いるか、反射型の専用センサをスキャンさせて検出する方式が主流。

透過型の櫛形センサによる検出方式は、設置・調整の簡単さや、安定検出というメリットがあったが、コストがネックだった。

今回のセンサは、櫛形（透過型）の形状にもかかわらず、ローコストを実現した。

カセットやウエハの状態に合わせてカスタマイズが可能。検出距離は１～３メートル、全長は最大２メートル、標準光軸ピッチは３０・４０・４５・５５・１３５ミリメートルを用意。

使用者の工数削減を考慮した機能も搭載。各光軸のセンシングゾーンを幅広くするとともに、オートティーチング機能を搭載し、投光量を自動調整、安定検出とともに、セットアップ時の設置工数削減を実現した。

また、「ＬＥＤナビ機能」で複数ある光軸の出力状態をそれぞれ表示し、光軸合わせはもちろん、感度調整もしやすくしている。

検出能力も業界トップクラス。マスターとスレーブに投／受光部を全部備えて、両方向の重複で検出する「ダブルスキャン方式」を採用、光学系には「ウルトラナローソース」「コリメーションレンズ」を搭載することで、光拡散角度を業界最高クラスのプラスマイナス３度に抑え、安定検出と超薄型ガラスの検出を可能にした。

出力はＮＰＮ／ＰＮＰオープンコレクタ出力はもちろん、ＣＣ―Ｌｉｎｋ通信モジュールを標準で用意。投光量低減状態をＰＬＣでモニタリングするなどの予防保全に活用できる。

すでに大手半導体・液晶メーカーにも採用が決まり、日本市場でも積極的に拡販を狙う。

販売代理店はマルヤス電業（ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｍａｒｕｙａｓｕ‐ｅｌｃ．ｃｏ．ｊｐ／）。